电子束测量和具备微纳加工能力的制程控制检测设备的研发及产业化 2020-02-28
QA230600-2020-18
主动公开
无
无
无
2020-02-28
| 项目编码 | 310118MA1JMJF1120201D3101002 | |
| 项目名称 | 电子束测量和具备微纳加工能力的制程控制检测设备的研发及产业化 | |
| 审批文号 | ||
| 审批文件 | ||
| 批复机关 | 上海市青浦区发展和改革委员会 | |
| 批复时间 | 2020-02-28 | |
| 受文单位 | ||
| 项目法人 | 上海精测半导体技术有限公司 | |
| 内 容 摘 要 | 建设地点 | |
| 建设内容 | 开发电子束测量和具备微纳加工能力的制程控制检测设备，实现高分辨率电子光学成像系统及配套的具备高速图像扫描及采集、高精度低震动样品定位能力的设备硬件平台、实现具备缺陷检测、分类和关键尺寸测量能力的实时图像处理软件、实现缺陷检测、复查和关键尺寸测量功能的一体化应用。建设建筑面积共计约6000㎡的千级、百级洁净室厂房，1000㎡的实验室。 | |
| 建设规模 | ||